真空泵系列產(chǎn)品組合中久經(jīng)考驗(yàn)的干式螺桿真空泵，可以為工藝嚴(yán)苛的太陽(yáng)能、平板顯示器和半導(dǎo)體應(yīng)用提供世界一流的高負(fù)荷和大流量進(jìn)出片室解決方案。該真空泵采用獨(dú)特的螺桿設(shè)計(jì)，并且集一流的抽速、強(qiáng)勁的抽氫性能，以及卓越的粉塵處理能力于一身。
同時(shí)配備了高能效電機(jī)和世界先進(jìn)的休眠模式功能，可節(jié)省大量能耗。采用最優(yōu)化的空間設(shè)計(jì)，并具有節(jié)能潛力，因此運(yùn)行成本很低。

技術(shù)設(shè)計(jì)
螺桿真空泵采用反向旋轉(zhuǎn)的兩個(gè)轉(zhuǎn)子，通過(guò)螺桿與腔體間形成的腔室將抽取的工藝介質(zhì)逐級(jí)輸送至排氣口。此螺桿結(jié)構(gòu)從更大程度上減少介質(zhì)在真空泵中的滯留時(shí)間，使其具有更佳的粉塵處理和重啟能力。

與標(biāo)準(zhǔn)螺桿設(shè)計(jì)相比，改進(jìn)后的螺桿設(shè)計(jì)能耗更低，壓縮后的氣體溫度更低。使用間接的制冷方法，可使整個(gè)泵體的溫度保持恒定，從而消除冷點(diǎn)，并為冷卻水夾套提供穩(wěn)定的溫度。先進(jìn)的高壓縮螺桿設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了同類產(chǎn)品中更佳的抽氫性能。

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作者:德耐爾@德耐爾空壓機(jī)  空壓機(jī)修訂日期：2016-05-27
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