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隨著社會科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，越來越多的行業(yè)對清潔真空、環(huán)保等方面提出了嚴格的要求，以避免回油泄漏污染，因此無油真空泵得到了迅速的發(fā)展。由于起步較晚，許多企業(yè)用戶只使用爪式真空泵和螺桿泵等上。事實上，無油真空泵涉及的不止這些類型。
當談到無油真空泵時，先提到的是爪式真空泵。它是為電子半導(dǎo)體工業(yè)開發(fā)的干式真空泵。它能滿足潔凈真空的需要，具有高效的自動啟閉閥門的作用，又很高的效率。
然后是螺桿泵，螺桿泵和爪式真空泵都是非接觸式無油真空泵，泵腔中不含油、水等物質(zhì)，轉(zhuǎn)子之間存在間隙，對顆粒物質(zhì)和凝析氣體具有一耐受性。同時，與爪形真空泵相比，由于沒有相似的閥門結(jié)構(gòu)，效率較低，但其氣道通暢，轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性較好，分別具有優(yōu)勢。
渦旋真空泵的開發(fā)和生產(chǎn)主要集中在美國、日本和英國，因此許多國內(nèi)企業(yè)不了解這個無油真空泵。廣泛應(yīng)用于分析儀器、半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線、科研設(shè)備、分子泵的前置泵和小型低溫泵。
根真空泵羅茨真空泵種類繁多，如濕式真空泵、干式真空泵、直排真空泵、普通真空泵、多級真空泵等，引起了一些用戶對一的誤解。事實上，中、高真空用機械增壓泵和多級羅茨泵都是無油真空泵，抽油量大，應(yīng)用廣泛。
無油旋轉(zhuǎn)葉片真空泵和無油活塞真空泵（往復(fù)式泵）。普通的旋片式真空泵和活塞式真空泵雖然在泵腔內(nèi)有油介質(zhì)，但也可以利用自潤滑材料實現(xiàn)無油運行，成為無油真空泵。另外，隔膜真空泵在往復(fù)泵中也沒有油型。
渦輪分子泵。它是一型原用于超高真空的無油真空泵。隨著高出口壓力、高流量的發(fā)展，其應(yīng)用范圍逐漸向中高真空領(lǐng)域發(fā)展。
以上是目前常見的無油真空泵，除此之外，還有低溫泵、吸附泵等能夠?qū)崿F(xiàn)清潔無油真空環(huán)境的氣體捕集泵，但它們通常不被包括在無油真空泵中，所以這里就不在一一列舉了。
無油真空泵就介紹到這里了，祝您生活愉快~
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機 空壓機修訂日期：2019-11-30
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