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在半導(dǎo)體制造工藝中，螺桿真空泵作為核心設(shè)備，其運(yùn)行工況對(duì)生產(chǎn)設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性起著重要作用。因此，選擇合適的螺桿真空泵作為核心設(shè)備，能在半導(dǎo)體生產(chǎn)中發(fā)揮關(guān)鍵作用。
適用范圍
螺桿真空泵的適用范圍較廣，可以應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、化學(xué)化工、食品、醫(yī)藥、電子制造、半導(dǎo)體封裝等行業(yè)。
半導(dǎo)體行業(yè)的螺桿真空泵應(yīng)用最為廣泛，主要應(yīng)用于硅片制造，清洗與測(cè)試，前處理以及真空封裝等領(lǐng)域。
在食品制造行業(yè)中，螺桿真空泵可以應(yīng)用于肉類、水產(chǎn)品的加工和保存過(guò)程中的真空輸送、真空干燥和真空冷凍等。
在醫(yī)藥制造行業(yè)中，螺桿真空泵可以應(yīng)用于制藥過(guò)程中的干燥、包裝以及其他特殊工藝過(guò)程的真空泵。
在電子制造行業(yè)中，螺桿真空泵還可以用于電子芯片清洗與測(cè)試過(guò)程中的真空泵以及半導(dǎo)體封裝和后處理等過(guò)程中的真空泵。
結(jié)構(gòu)與工作原理
螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)，包括轉(zhuǎn)子、定子和螺桿轉(zhuǎn)子三部分，工作時(shí)由螺桿轉(zhuǎn)子在定子內(nèi)旋轉(zhuǎn)形成真空室，將氣體吸入并壓縮。
定子部分由定子齒形、轉(zhuǎn)子組件等組成，其主要作用是將氣體吸入后，通過(guò)轉(zhuǎn)子組件的轉(zhuǎn)動(dòng)將氣體壓縮為可吸入狀態(tài)，通過(guò)機(jī)械能或電氣信號(hào)輸出達(dá)到抽除真空的目的。
在半導(dǎo)體制造工藝中，由于工藝過(guò)程要求設(shè)備在極低真空條件下運(yùn)行，所以需要對(duì)螺桿真空泵的運(yùn)行工況進(jìn)行嚴(yán)格控制。根據(jù)不同工藝要求和對(duì)真空度的要求，螺桿真空泵可以滿足半導(dǎo)體制造行業(yè)的不同工藝需求。
半導(dǎo)體制造行業(yè)對(duì)螺桿真空泵的運(yùn)行工況有較高的要求，包括：極限壓力、溫度、流量、流速、振動(dòng)、噪聲等。
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機(jī) 空壓機(jī)修訂日期：2024-03-20
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