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低溫真空泵的選型技術
低溫真空泵是低用低溫（低于100K）表面冷凝、吸附和捕集氣體來獲得和保持真空的設備。它有很多優(yōu)點：
①起始壓力高（原則上可從大氣壓開始抽氣），極限壓力低，可達10﹣13Pa，因此，其工作范圍壓力寬；
②抽速大，對于20℃空氣，更大抽速可達11.6L（s·cm²）；
③可以抽除各種氣體，從而獲得清潔的超高真空；
④作為大容量的排氣系統，占地面積小，電力消耗少；
⑤有極大的靈活性，可以做成插入式，用于無法布置其他類型泵的場合。低溫真空泵運行時需要冷劑或制冷設備。
低溫真空泵的應用范圍非常廣泛：
①在空間科學技術中，宇宙空間存在著真空和低溫狀態(tài)，外層空間的真空度可達10﹣14Pa，溫度為3K左右。因此，低溫真空是宇宙空間模擬的理想設備。此外，研究空間條件下材料表面現象，低壓空氣動力學試驗，火箭發(fā)動機高空點火試驗，空間生物技術等，都用低溫真空泵。
②應用在高能物理、等離子體和核聚變研究中。
③應用在薄膜制備領域。
④應用在微電子學，尤其是半導體微電子技術，如離子注入，離子刻蝕等。
⑤應用在近代科學儀器中，如掃描電鏡、電子衍射儀等各種分析儀器。
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機 空壓機修訂日期：2017-12-07
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