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淺談:各類真空泵適用的工藝類型

時間:2017-06-09 16:01來源:crehz.net.cn 作者:德耐爾空壓機
1、干泵(包括 螺桿真空泵 、 渦旋真空泵 和爪形泵)。適用于無油清潔的真空工藝過程,例如半導體行業(yè)、電子行業(yè)、化工行業(yè)等各種工藝使用,這幾種泵都能直排大氣。 2、油封機械真空泵(包括滑閥泵、 旋片真空泵 和定片泵)。適用于真空蒸餾、真空干燥、真空

 1、干泵(包括螺桿真空泵、渦旋真空泵和爪形泵)。適用于無油清潔的真空工藝過程,例如半導體行業(yè)、電子行業(yè)、化工行業(yè)等各種工藝使用,這幾種泵都能直排大氣。

2、油封機械真空泵(包括滑閥泵、旋片真空泵和定片泵)。適用于真空蒸餾、真空干燥、真空浸漬、真空燒結、真空絕熱、真空釬焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝中使用。當前,旋片式油封機械真空泵,作為直排大氣的前級泵,使用的量大面廣。

3、水環(huán)真空泵。適用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空干燥、真空保鮮、真空儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。

4、往復真空泵。適用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造型、真空干燥、鋼液真空處理等工藝。往復真空泵與水環(huán)真空泵使用的工藝基本相同。但是,往復真空泵不能直接抽水蒸汽,需要抽水蒸汽時一定要配備冷阱,采用制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。

5、羅茨真空泵。真空冶煉等工藝中使用。(機械增壓泵)適用于真空燒結、真空釬焊、真空浸漬、真空干燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工藝中使用。絕大多數(shù)羅茨泵都不能用于直排大氣,需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級泵使用,濕式羅茨泵可以直排大氣,主要用于造紙工藝中。

6、油增壓泵。適用于真空冶煉、真空燒結、真空釬焊、真空熱處理等工藝中使用。它與機械增壓泵想類似,不能直排大氣,必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級泵。

7、油擴散泵。適用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真空提純、電子真空器件、真空分析儀器、真空檢漏儀、宇宙空間真空模擬裝置、加速器真空系統(tǒng)等工藝中使用。它適合于抽取高真空使用,本身不能直排大氣,必須配備前級真空泵。

8、吸附泵。適合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器以及各種要求清潔無油的真空系統(tǒng)中使用。

9、鈦泵(包括濺射離子泵、升華泵)。適用于真空鍍膜、大規(guī)模集成電路、表面物理和表面化學,熱核物理、等離子體物理和超導技術等工作中使用。

10、分子泵。適用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化學、等離子體物理、光學儀器、熱核反應和宇航技術工作中使用。

11、水噴射泵。適合于真空導料、真空輸送、輕工、化工、化纖、制藥、涂料、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚和真空除氧等工業(yè)領域中使用。

12、水蒸氣噴射泵。適合于真空冶燒、真空脫氣、真空蒸發(fā)、真空干燥和真空回潮等工藝中使用。

13、低溫泵。適合于真空鍍膜、表面物理、超導技術和宇航技術等工作中使用。

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作者:德耐爾@德耐爾空壓機  空壓機修訂日期:2017-06-09
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